新機能
生産現場のニーズに最も対応した高性能モニター機
チャンバー内の最大風量7m以上（当社従来機比57％UP）を実現。
チャンバーと電源を独立させ、お客様のデバイス用途に応じてさまざまなソリューションを提供します。
バーンインボード管理
管理PCを使用することで、マルチ化されたバーンイン装置を一括管理します。
主な管理情報
設定可能）
ネットワークによるボード管理
Products
半導体検査装置
【特長】
・1温度ゾーン／2試験ゾーン（12枚／1試験ゾーン）
24枚のバーンインが可能
・チャンバー内、最大風量7m以上（デバイス発熱考慮）
・ボード情報やデバイス情報など、様々なデータ情報を一括管理
・チップID読取り機能(SPI、JTAG、I2C方式に対応)
試験履歴のトレーサビリティが大幅に向上
・1ゾーンに対し、4電源を装備（1系統：最大120 Vまで対応可能）
・温度設定 ： Rt＋20～＋150℃を保証
・バーンインボードサイズ ： 450 mm × 580 mmの大判サイズ搭載可能
チャンバー内の最大風量7m以上（当社従来機比57％UP）を実現。
チャンバーと電源を独立させ、お客様のデバイス用途に応じてさまざまなソリューションを提供します。
ネットワークによるボード管理